ASML 分享 High-NA EUV 光刻机最新进展：尽可能 2024-2025 年进厂

得了良好的进展，现有之前开始在我们位于维尔德沙尔克的最初无尘空间中都承接第一个 High-NA 喷涂”，“在第一季度，我们寄出了多份 EXE:5200 系统对的批次。我们这个翌年也还寄出额外的 EXE:5200 批次。我们现有就有来自三个逻辑芯片和两个存储芯片零售商的 High-NA 批次。EXE:5200 是 ASML 的下一代高 NA 系统对，将为喷涂最初技术的性能和生产商力共享下一步的发展。”

ASML 的 Twinscan EXE:5200 比普通的 Twinscan NXE:3400C 的设备要适合于得多，因此承接这些的设备也须要较长的间隔时间。该公司期盼在未来中都期能够订购 20 套 High-NA 系统对，这可能意味着其零售商将不得已透过竞争。

“我们也在与我们的IT四人发表意见，以确保中都期大约 20 个 EUV 0.55NA 系统对的订购能力，”Wennink 说。

到现有为止，唯一确认用到 ASML High-NA 喷涂机的是摩托罗拉 18A 终端，摩托罗拉方案在 2025 年进入大批量生产商，而 ASML 也是大约在那时开始订购其 High-NA EUV 系统对。但最近摩托罗拉之前将其 18A 的生产商规划推迟到 2024 年下半年，并指出可以用到 ASML 的 Twinscan NXE:3600D 或 NXE:3800E 来生产商，可能是通过多重披露来透过。

从这一点来看，摩托罗拉的 18A 最初技术毫无疑问亦会大大受益于 High-NA EUV 工具，但也并非完全离不开 Twinscan EXE:5200 的设备。在商言商，虽然 18A 都是须要最初的设备，但多重披露来透过意味着较长的厂商周期性、不够较低的生产商率、不够佳的几率、不够较低的现金流，和不够昧的竞争。所以，摩托罗拉称许也期盼它的 18A 终端尽迟到来，从而重铸往昔光辉，好从摩托罗拉手里都夺回都曾的威望。

《每台内涵 4 亿美元：ASML 正开发设计的下一代 High-NA 喷涂机再一于 2023 年上半年亮相》

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